日本廠家 HORIBA 堀場(chǎng) 電率計(jì) HE-480C-GC 高穩(wěn)定性
2024-12-03 10:51:07
fujino
半導(dǎo)體用面板支架48/96系列
HE-480C-GC
0-9999μS/cm（溫度補(bǔ)償前）
HE-960LC
0-10000μS/cm（溫度補(bǔ)償前）
HE-960LF
FS-09F-1/2
0-10000μS/cm（溫度補(bǔ)償前）
※最適合粘性高的樣品液（CMP Slurry等）
HE-960HC
0-1000mS/cm（溫度補(bǔ)償前）
平面碳傳感器導(dǎo)電率計(jì)
HE-960LF / FS-09F-1/2
是最適合采用耐化學(xué)藥品性高的扁平碳傳感器的漿料濃度管理的導(dǎo)電率計(jì)。
通過(guò)維持適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電率值，保持漿料的稀釋程度一定，為晶片研磨工序的穩(wěn)定化做出貢獻(xiàn)。
特征
高穩(wěn)定性
測(cè)量范圍為0～2,000μS/cm和0～10,000μS/cm，重復(fù)性分別為±0.5%F/S和±1.0%F/S，具有高穩(wěn)定性。
規(guī)格
■指示轉(zhuǎn)換器
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 電導(dǎo)率儀 | |||
|---|---|---|---|---|
| 模型 | HE-960LF | |||
| 測(cè)量方法 | 2 電極電導(dǎo)率測(cè)量 | |||
| 溫度傳感器規(guī)格 | 測(cè)溫電阻1000Ω（0℃時(shí)） | |||
| 測(cè)量范圍 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時(shí) | 1.0/cm時(shí) | |
| 電導(dǎo)率儀 | 0.00～20.00μS/cm | 0.0～200.0μS/cm | ||
| 0.0～200.0μS/cm | 0～2000μS/cm | |||
| 0～1000μS/cm | 0～10000μS/cm | |||
| *通過(guò)改變溫度補(bǔ)償前的電導(dǎo)率測(cè)量范圍設(shè)置來(lái)切換范圍 | ||||
| 溫度 | 0～100℃ 但根據(jù)傳感器規(guī)格（小數(shù)點(diǎn)后可選擇1位或2位） | |||
| 濃度換算 | 可選 1、2 | 0至10.000%（轉(zhuǎn)換公式由用戶設(shè)定） | ||
| 重復(fù)性 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時(shí) | 1.0/cm時(shí) | |
| 電導(dǎo)率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以?xún)?nèi) | |
| 0.0～200.0μS/cm范圍 | 0～2000μS/cm范圍 | |||
| 0～1000μS/cm范圍 | 0～10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以?xún)?nèi) | ||
| 溫度 | ±0.5℃以?xún)?nèi) | |||
| 狀況 | 具有等效輸入 | |||
| 線性度 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時(shí) | 1.0/cm時(shí) | |
| 電導(dǎo)率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以?xún)?nèi) | |
| 0.0～200.0μS/cm范圍 | 0～2000μS/cm范圍 | |||
| 0～1000μS/cm范圍 | 0～10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以?xún)?nèi) | ||
| 溫度 | ±0.5℃以?xún)?nèi) | |||
| 任意濃度 | 具有等效輸入 | |||
| 變速輸出 | 輸出點(diǎn)數(shù)：4點(diǎn) DC4-20mA/0-20mA 輸入輸出隔離型 最大負(fù)載電阻：900Ω 變送輸出范圍：在測(cè)量范圍內(nèi)任意設(shè)定 （各變送輸出負(fù)端內(nèi)部連接，具有相同的潛力） | |||
| 接點(diǎn)輸出 | 輸出點(diǎn)數(shù)：5點(diǎn) 報(bào)警接點(diǎn)輸出（R1至R4） 接點(diǎn)類(lèi)型：繼電器接點(diǎn)、SPST（1a） 接點(diǎn)容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A （電阻負(fù)載） 接點(diǎn)功能：各測(cè)量對(duì)象的上下限動(dòng)作（ON/OFF 控制）、延遲時(shí)間 接點(diǎn)動(dòng)作：動(dòng)作時(shí)間、常開(kāi)（包括斷電） （但是，R1、R2、R3 與公共觸點(diǎn)） 報(bào)警觸點(diǎn)形式：繼電器觸點(diǎn)，SPST（1c） 觸點(diǎn)容量：AC 240 V 1 A，DC 30 V 1 A （阻性負(fù)載） 接點(diǎn)功能：錯(cuò)誤、異常報(bào)警、維護(hù)中選擇 接點(diǎn)動(dòng)作：C與NO之間使用時(shí)，正常時(shí)閉合，異常時(shí)（包括停電）時(shí)打開(kāi) ?（C與NC之間使用時(shí)，接點(diǎn)狀態(tài)相反） ） ?（不過(guò)R4和RF是通用的聯(lián)系COMMON） | |||
| 接點(diǎn)輸入 | 輸入點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn) | |||
| 輸入形式：集電極開(kāi)路無(wú)電壓a接點(diǎn) | ||||
| 接點(diǎn)功能：傳送輸出保持 | ||||
| 通訊輸出 | RS-485輸入/輸出 | |||
| 校準(zhǔn)功能 | 通過(guò)輸入電導(dǎo)池常數(shù)校正系數(shù)（參數(shù)輸入） 與溫度參考溫度計(jì)進(jìn)行比較校準(zhǔn) | |||
| 傳送輸出保持功能 | 選擇前一個(gè)值保持或任意值保持 （但是，在維護(hù)模式下，將保持前一個(gè)值） | |||
| 自診斷功能 | 傳感器診斷（溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線）轉(zhuǎn)換器故障 | |||
| 電導(dǎo)率溫度補(bǔ)償 | ●輸入任意溫度系數(shù)（參考溫度：5～95℃，溫度系數(shù)：0～5%/℃） ●輸入任意溫度補(bǔ)償公式（補(bǔ)償公式由用戶設(shè)定） ●無(wú)溫度補(bǔ)償 | |||
| 溫度補(bǔ)償范圍 | 0～100℃（但0℃以下、100℃以上時(shí)計(jì)算范圍擴(kuò)大） | |||
| 環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |||
| 相對(duì)溫度 | -25～65℃ | |||
| 電源 | 額定電壓 DC24V 10W（最大） | |||
| 結(jié)構(gòu) | 面板安裝 室內(nèi)安裝類(lèi)型 面板外殼：ABS，端子部分：PBT 面板部分防滴結(jié)構(gòu) | |||
| 兼容標(biāo)準(zhǔn) | CE標(biāo)志 | EMC 指令：EN61326-1 | ||
| FCC法規(guī) | FCC 第 15 部分 | |||
| 重量 | 約550克 | |||
| 外形尺寸 | 96（寬）× 96（高）× 115（深）毫米 外殼深度：約 105 毫米（安裝在面板上時(shí)） | |||
| 兼容傳感器 | FS-09F-1/2 | |||
傳感器
| 格式 | FS-09F-1/2 | FS-09F-1/2-200 |
|---|---|---|
| 液接部材料 | 玻碳 PFA Kalrez? | |
| 配管尺寸 | 1/2 英寸 | |
| 樣品流速 | 0～10L/min的流量沒(méi)有影響 ，但要保證樣液更換所需的流量和溫度。 | |
| 樣品壓力 | 0～0.3MPa 但20～30℃ | |
| 樣品溫度 | 如果環(huán)境溫度20～30℃ 與液體溫度相差5℃，就會(huì)出現(xiàn)1℃左右的測(cè)量誤差。 | |
| 電纜長(zhǎng)度 | 約3.5m | |